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讨论了用于DWDM系统的薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差产生的机理,利用自行建立的计算机膜厚容差模拟程序,分析了多Fabry-Perot腔窄带滤光片的容差特性.发现多腔窄带滤光片各腔的误差灵敏度与腔的位置有关,且各腔间隔层组成材料不同,其对误差最敏感的膜层位置也不相同.
DWDM用薄膜窄带滤光片的容差特性模拟分析
【摘 要】
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讨论了用于DWDM系统的薄膜窄带滤光片在镀制过程中的监控方法及误差产生的机理,利用自行建立的计算机膜厚容差模拟程序,分析了多Fabry-Perot腔窄带滤光片的容差特性.发现多腔
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2003年3期
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