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闭管扩散是近几年出现的一种新技术，是伴随着太阳能的兴起而诞生的，闭管扩散就是晶片进入到炉管以是一个完全封闭的状态或是真空状态，或是惰性气体填充状态，状态达到以后不再与外界有联系的一种扩散方式。它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,本文介绍了在一种用于太阳能电池工艺的应用。
应用于扩散工艺中的闭管扩散技术
【摘 要】
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闭管扩散是近几年出现的一种新技术，是伴随着太阳能的兴起而诞生的，闭管扩散就是晶片进入到炉管以是一个完全封闭的状态或是真空状态，或是惰性气体填充状态，状态达到以后不再与外
【机 构】
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英利能源(中国)有限公司
【出 处】
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城市建设理论研究（电子版）
【发表日期】
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2004年期
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