IC晶片关键尺寸标定的新方法研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hnwkn2008
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提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量.该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求.
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