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研究了用于射频溅射ＰＴＣ－ＢａＴｉＯ３薄膜的厚大靶材制备工艺，所制成的靶材的室温电阻率为８００Ωｃｍ，ＰＴＣ效应〉１０＾５，平均粒径为１－３μｍ，讨论了配方ＴｉＯ２品种的选择，施受主添加剂的搭配与掺量以及烧成中的升温速率对于ＰＴＣ效应的影响。
PTC—BaTiO3射频溅射用靶材的制备
【摘 要】
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研究了用于射频溅射ＰＴＣ－ＢａＴｉＯ３薄膜的厚大靶材制备工艺，所制成的靶材的室温电阻率为８００Ωｃｍ，ＰＴＣ效应〉１０＾５，平均粒径为１－３μｍ，讨论了配方ＴｉＯ２品种的选择，施受主添加剂的搭配与掺量以及烧成中的升温速率对于ＰＴＣ效应的
【机 构】
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武汉工业大学,华中理工大学
【出 处】
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材料科学与工艺
【发表日期】
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1995年4期
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