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本文采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.
248nm KrF准分子激光精密加工Al2O3的实验研究
【摘 要】
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本文采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2002年2期
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