Mechanical and electronic approaches to improve the sensitivity of microcantilever sensors

来源 :力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yxiande123

【摘要】

：

<正> Advances in the field of micro electro mechanicalsystems and their uses now offer unique opportunities inthe design of ultrasensitive analytical tools.The

【作者】

：

Madhu Santosh Ku Mutyala Deepi

【机构】

：

InstituteforMicromanufacturing

【出处】

：

力学学报：英文版

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

MEMS 微悬臂梁传感器微机电系统灵敏性 Microcantilever Sensor MEMS Sensitivity

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<正> Advances in the field of micro electro mechanicalsystems and their uses now offer unique opportunities inthe design of ultrasensitive analytical tools.The analyticalcommunity continues to search for cost-effective,reliable,and even portable anal

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