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虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能,但不足之处也显而易见.较低的扫描和采样速度使工作效率不高.多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的.为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求, 我们设计了四探头SPM.本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统, 并探讨多探头SPM的设计方法.