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介绍了一种基于MEMS原理的风电用低频结构振动检测仪,根据低频结构振动监测仪的工作原理和实际使用情况,提出了一种基于低频振动传感器校准装置的加速度灵敏度幅值、灵敏度幅值线性的校准方法,解决了这种风电用低频结构振动监测仪量值溯源问题.试验结果和不确定度评定结果表明,该方法能够满足量值传递要求.