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KH2PO4（KDP）晶体具有优质的非线性光学特性，是目前唯一可用作惯性约束核聚变（ICF）装置中激光倍频和电光开关的晶体材料。KDP晶体具有很强的吸湿潮解性，且硬度较低（莫氏2．5）。目前，国内外广泛采用单点金刚石飞刀切削方法进行KDP晶体超精密加工，然而，加工后晶体表面留有小尺度波纹，严重影响了系统输出的光束质量。