【摘 要】
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SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了Si MEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用.文章
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SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了Si MEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用.文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiC MEMS的应用.最后,分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状.
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