小尺寸2D密闭腔气体摆特性的有限元分析

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zj2008263
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采用有限元法,计算了小尺寸2D密闭腔中点热源引起的对流场和温度场,从而验证和解释了小尺寸密闭腔内自然对流气体的摆特性。结果表明:(1)无论是在水平状态还是在倾斜状态,在浮升力的作用下密闭腔内自然对流气体的方向总是竖直向上,具有摆的特性;(2)热源两侧原来处在同一条等温线上两点的温度不再相等,倾斜10°时,温度之差为20K;倾斜20°时,温度之差为40K。微机械气流式水平姿态传感器利用这一特性可敏感倾斜角度。
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