【摘 要】
：
利用三路脉冲金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在半极性r面蓝宝石衬底上成功生长了非极性a面AlGaN外延层.使用高分辨率X射线衍射系统、扫描电子显微镜、原子力显微镜、光致
【机 构】
：
陕西工业职业技术学院电气工程学院,陕西咸阳 712000东南大学先进光子学中心,南京 210096;
论文部分内容阅读
利用三路脉冲金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在半极性r面蓝宝石衬底上成功生长了非极性a面AlGaN外延层.使用高分辨率X射线衍射系统、扫描电子显微镜、原子力显微镜、光致发光测试系统对AlGaN外延层的结构、表面形貌和光学特性进行了测试和表征.结果 表明,与常规三路脉冲MOCVD技术相比,利用新型三路脉冲MOCVD技术生长的非极性a面AlGaN外延层的均方根粗糙度降低了76.9％,且带边激子发光峰的半高宽降低了24.0％.因此,新型三路脉冲MOCVD技术能够有效地抑制生长非极性a面AlGaN外延层所使用的Al源(TMAl)和N源(NH3)前驱体之间的气相寄生反应产生的缺陷,从而显著改善非极性a面AlGaN外延层的表面形貌,同时提高外延层的光学性能和晶体质量.
其他文献
介绍了一种锗硅(Si1-xGex)沟道双栅(DG)负电容(NC)隧穿场效应晶体管(TFET),在Sentaurus TCAD软件中通过耦合Landau-Khalatnikov (LK)模型的方法对器件进行了仿真.首先分析了
采用金属有机气相外延(MOVPE)方法在6英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底上生长了GaN HEMT材料.使用高分辨X射线衍射仪、原子力显微镜和微区拉曼光谱仪等对材料的表面形貌、晶体质量
以发展观看外语教学，影响它的语言学理论以及由此产生的语言教学观可以概括为两种。第一种是结构主义语言学理论及语言教学观，结构主义将语言看作结构上相互联系并表达一定意义
论文分为五个部分。第一部分是引论，主要评述国内外对伍尔夫作品的研究状况。论文第二部分运用弗洛伊德式精神分析法解读《奥兰多》。 第三部分诠释《奥兰多》中的弗洛伊德
语篇衔接是话语分析研究领域中十分受关注的话题之一，而内指照应作为其语法手段中的头一个，不仅是篇章衔接和连贯的承载体，也是篇章建抅和解读的重要入口，因此对内指照应的研究可
为了精确地表征器件特性,提出了一种直接提取T型异质结双极型晶体管(HBT)小信号模型参数的方法.该方法仅依赖于S参数测试数据,采用精确的闭式方程式直接提取电路元件参数.该
制备大直径单晶是降低器件成本的重要手段之一.对于制备大尺寸半绝缘InP单晶而言,由于其需要在高温高压环境下生长,随着热场尺寸的增大,炉体中气氛以及熔体中的对流增大,因而
研究了单面抛光中有蜡贴片工艺对抛光后4英寸(1英寸=2.54 cm)SiC晶片总厚度变化(TTV)和翘曲度的影响.分别选择固体蜡和液体蜡进行贴片实验,采用平面度测量仪检测加工前后晶片