论文部分内容阅读
分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理。直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15Co20／Cu多层膜，研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层（NiFeCo）厚度、间隔层（Cu）厚度及铁磁层（NiFeCo）厚度等参数的依赖关系，得到了GMR值达8．8％的多层膜样品：缓冲层（NiFeCo）5nm，间隔层（Cu）2．4nm，铁磁层（NiFeCo）1．6nm，且饱和场低、磁滞小、灵敏度较高，符合磁性生物检测技术的要求。制备了基于优化参数NiFeCo／Cu多层膜的GMR传感器，对器件的性能进行了测试，结果表明