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压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷应用中的重要部件。采用分立元件组成高压放大电路,结合16位SPCE061A单片机,利用软件做数字式半闭环控制,研制开发了3自由度（3-DOF）并联机器人用压电陶瓷驱动器驱动电源,并介绍了驱动电源的组成及工作原理。通过软件算法实现了电源高精度可程控的设计目标,弥补了放大单元及压电陶瓷特性上的缺陷。