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采用物理气相沉积法，以纯铟粒为原料，在980℃下Si（100）基片上通过改变气流成分制备了一系列氧化锢纳米线，并采用扫描电子显微镜、X射线衍射和透射电子显微镜对其形貌和结构进行了表征。试验表明。随着氲气中氢气含量增加，纳米线的产量降低，10％的含氢量最优。纳米线的直径在50-100nm之间，长度可达几十微米。纳米线的结构是方铁锰矿体心立方单晶结构。纳米线的生长符合VLS模型，铟起到了自催化的作用。