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近年来, SiOx作为锂离子电池负极,由于其良好的循环稳定性、较大的容量以及对成分调控的可行性,引起了广泛的关注。以往的许多研究都集中在阐明氧含量对SiOx负极的影响,尺寸效应对性能的影响规律很少被研究。此工作研究了不同厚度的薄膜型SiOx负极材料的电化学性能。溅射制备SiOx电极的Si/O比值为0.7、膜厚为450 nm时,电极初始库仑效率（ICE）为71.68%、容量保持率92.01%。以上的最优性能主要归功于电荷转移电阻低、SEI层形成减少和循环过程中电极的结构稳定性。研究表明,作为LIBs负极,控