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本文采用反应等离子喷涂技术在只改变氮气流量，固定其它工艺参数的备件下，制备了TiN涂层，并收集了少量TiN颗粒。通过SEM技术对涂层和TiN颗粒表面形貌进行了分析和研究，测试了TiN涂层的显微硬度。结果表明：氮气流量对氮化钛涂层的性能影响很大。当氮气流量为17501／h时，所得的氮化钛涂层致密，显微硬度最高且压痕形状规则。