【摘 要】
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设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统.详细介绍测试系统的结构和工作原理.对静电梳状驱动器的驱动电压-驱动力关系、
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设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统.详细介绍测试系统的结构和工作原理.对静电梳状驱动器的驱动电压-驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算.利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比.结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试.
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