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微电极的制作是微流控芯片电化学检测的关键技术．本文提出CO2激光烧蚀结合化学腐蚀快速制作微流控芯片阵列微电极的方法．在溅射Au／Cr的玻璃基片上涂敷指甲油作牺牲层，利用CO2激光烧蚀开窗口．经化学腐蚀后获得阵列电极，电极宽度为100μm．考察了激光加工参数及牺牲层对电极加工质量的影响，对由键合包封制作的微流控芯片，循环伏安及流动注射分析测试表明，该电极芯片可用于微流控芯片的安培检测．