【摘 要】
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以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原
【机 构】
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兰州城市学院电子信息科学与技术研究所,兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州大学数学与统计学院
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以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.
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