【摘 要】
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设计了一种基于多壁碳纳米管(MWNT)场发射和气体吸附的压力传感器。通过热化学气相沉积法(CVD)在合金基底上直接制备具有强附着性能的MWNT薄膜,以MWNT薄膜为场发射阴极,利用
【机 构】
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温州大学微纳结构与光电器件研究所,温州市承泰电子有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61620106006、61871292)
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设计了一种基于多壁碳纳米管(MWNT)场发射和气体吸附的压力传感器。通过热化学气相沉积法(CVD)在合金基底上直接制备具有强附着性能的MWNT薄膜,以MWNT薄膜为场发射阴极,利用气体吸附引发的场发射电流增强效应,测量环境压力。在实验室条件下分别测试了N2和大气成分下的气体压力传感性能,结果显示,MWNT阴极材料在两种气体环境中均存在小电流场发射随真空压力升高而增长的传感效应。基于该效应,设计了一种微型实用型压力传感器。该传感器具有量程宽(1×10^-7~1×10^-3 Pa)、体积小
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