【摘 要】
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利用液体表面张力进行微器件组装的技术在微电子机械和电子制造领域被广泛使用.因为液体表面张力和表面形态在组装过程中变化的复杂性,目前缺乏通用的解析方法来计算液桥力.
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61703255);陕西省教育厅专项科研计划项目(18JK0107);陕西科技大学自然科学预研基金项目(2017BJ-01)
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利用液体表面张力进行微器件组装的技术在微电子机械和电子制造领域被广泛使用.因为液体表面张力和表面形态在组装过程中变化的复杂性,目前缺乏通用的解析方法来计算液桥力.本文以常见形状的组装器件为研究对象,基于Surface Evolver有限元分析软件建立液桥的仿真模型,通过仿真计算得到液桥的能量和受力,分析器件相对装配基底发生水平错动时作用在微器件上的回复力的变化规律,研究不同形状器件对回复力的影响,并阐述影响液桥组装能力的物理本质,为微器件的装配技术提供理论依据.
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