【摘 要】
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由中国科学院做电子研究所、中科院上海微系统与信息技术研究所、清华大学、北京夫学、复旦大学等单位共同承担的国家科技重大专项02专项——“22nm关键工艺技术先导研究与平
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由中国科学院做电子研究所、中科院上海微系统与信息技术研究所、清华大学、北京夫学、复旦大学等单位共同承担的国家科技重大专项02专项——“22nm关键工艺技术先导研究与平台建设”项目通过专家组现场验收。验收专家认为，该项目取得的研究成果为22nm～14nm技术代工业化二次开发积累了关键核心技术，为后续16nm及以下技术代（包括10nm、7nm等）的基础技术研发奠定了坚实的基础。
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