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针对一类内部各部件不可直接测量的动态测量设备,研究其精度退化规律,提出一种基于Wiener过程的独立部件精度预测的方法。该方法通过动态误差分解与溯源,以间接测量的方法得到精度损失的统计量。通过极大似然估计方法得到模型参数的初值,再采用贝叶斯理论对参数进行在线更新,进而预测系统各部件的精度。最后,以百分表精度退化实验为例,验证该模型预测的精度和可行性。