TGS的湿法光刻刻蚀

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本文研究了TGS晶体在丙铜和酒精—水溶液中的溶解度和刻蚀速率(b面)。有了刻蚀知识和光刻技术,制作选择刻蚀结构的热释电探测器是有可能的。它加工处理方便,同时由于能控制较薄的厚度以及具有较好的有效面积的热绝缘,而使它具有高的探测灵敏度。 In this paper, the solubility and etching rate (b-plane) of TGS crystals in copper-copper and alcohol-water solutions were investigated. With the knowledge of etching and lithography, it is possible to make pyroelectric detectors that choose an etched structure. It is easy to process and has high detection sensitivity thanks to its ability to control thinner thicknesses and thermal insulation with better effective area.
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