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由于我们一直致力于预测集成电路技术的未来发展．这就容易忽视那些老代技术潜在的巨大市场的需求。但令人欣慰的是．包括248纳米光刻系统在内的老代的技术平台正被重新改造，进而投入不断成长的市场接受挑战。
光刻设备在特定应用中获得新生
【摘 要】
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由于我们一直致力于预测集成电路技术的未来发展．这就容易忽视那些老代技术潜在的巨大市场的需求。但令人欣慰的是．包括248纳米光刻系统在内的老代的技术平台正被重新改造，进而
【机 构】
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SemiconductorInternational责任编辑
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年11期
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