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采用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体在玻璃基片上沉积了单相γ′-Fe4N薄膜, 采用X射线衍射(XRD)和超导量子干涉仪(SQUID)对所制备的样品进行了结构和磁性性能分析,研究了基片温度对薄膜的结构和磁性性能的影响.
氮化铁薄膜的结构及磁性研究
【摘 要】
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采用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体在玻璃基片上沉积了单相γ′-Fe4N薄膜, 采用X射线衍射(XRD)和超导量子干涉仪(SQUID)对所制备的样品进行了结构和磁性性能分析,研
【机 构】
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长春大学
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2005年6期
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