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采用自行设计搭建的光学杠杆光路系统,使用位置敏感度探测元件（PSD）对悬臂梁的微小挠度变化进行测量。介绍了实验原理及系统搭建。实验测量与分析表明：系统分辨力可达0.06μm。对自制的悬臂梁挠度变形进行测量,并与微动平台的实际位移量对比,结果基本一致,验证了系统的可靠性。
基于光学杠杆法的微纳位移测量系统
【摘 要】
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采用自行设计搭建的光学杠杆光路系统,使用位置敏感度探测元件（PSD）对悬臂梁的微小挠度变化进行测量。介绍了实验原理及系统搭建。实验测量与分析表明：系统分辨力可达0.06μm。
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2017年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51505076);辽宁省自然科学基金资助项目(2015020105);中央高校基本科研业务费项目(N140304010,N150308001);辽宁省高等学校创新团队项目(LT2014006)
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