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为了实现高效率、高质量地加工硅片,提出一种超声椭圆振动辅助固结磨粒化学机械复合研磨硅片的新方法。首先简要介绍该方法所用装置及其工作原理,通过对研磨硅片的运动分析,建立其运动轨迹坐标系的数学模型并进行计算,然后借助MATLAB软件对研磨轨迹形状及其密度分布进行了仿真研究,其方法和结论可有效的为今后实验研究提供可供参考的理论依据。