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为更好地改善差拍法-珀干涉仪用于对纳米干涉仪进行非线性比对和校准场合的性能，提出用633nm外腔半导体激光器代替He-Ne激光器，并针对差拍法-珀干涉仪对工作激光器的要求，设计和实现了633nm可调谐外腔半导体激光器。用前端镀增透膜的637nm量子阱结构半导体激光器件及工作于Littrow自准直状态的光栅作为反馈元件，构成外腔激光器。实验结果表明，该激光器具有比较窄的光谱线宽；通过控温和旋转光栅，获得了覆盖633nm的4nm的调谐范围；通过控制频率调谐器，得到了1.8GHz的连续调谐范围。