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六氯乙硅烷在半导体行业中应用广泛,附加值高,但六氯乙硅烷中的金属杂质较难去除.本文通过实验,验证不同的吸附剂对六氯乙硅烷的金属杂质的去除能力,并摸索最佳的工艺条件,以达到降低金属杂质的目的.
六氯乙硅烷的杂质去除研究
【摘 要】
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六氯乙硅烷在半导体行业中应用广泛,附加值高,但六氯乙硅烷中的金属杂质较难去除.本文通过实验,验证不同的吸附剂对六氯乙硅烷的金属杂质的去除能力,并摸索最佳的工艺条件,以
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司,河南 洛阳,471000;洛阳中硅高科技有限公司,河南 洛阳 471000;中国恩菲工程技术有限公司,北京 100038
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2019年6期
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