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采用喷雾热解法，在玻璃基板上制备了辐射率较低的SnO2薄膜。利用紫外可见光分光光度计、XRD等手段，研究了沉积温度、液流量对薄膜结构及光电性能的影响。结果表明，沉积温度为520℃、液流量为1．30mL/s时，薄膜具有较佳的电学、光学性能，透过率80％，电阻率为7×10^-4Ω·cm。
喷雾热解法制备SnO2薄膜的结构及性能研究
【摘 要】
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采用喷雾热解法，在玻璃基板上制备了辐射率较低的SnO2薄膜。利用紫外可见光分光光度计、XRD等手段，研究了沉积温度、液流量对薄膜结构及光电性能的影响。结果表明，沉积温度为520
【机 构】
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西安理工大学材料科学与工程学院,洛阳理工学院材料科学与工程系,中国建筑材料集团公司
【出 处】
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洛阳理工学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年2期
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