采用光刻胶牺牲层技术改善薄膜电路制备工艺

来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yixvmei
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过对薄膜电路制备工艺系统的研究,将传统的薄膜电路制备工艺与牺牲层技术相结合,提出了一种新型的薄膜电路制备方法。克服了对反应离子刻蚀及离子束刻蚀等干法刻蚀设备的依赖,同时取消了湿法刻蚀,避免了其对图形精度的影响。通过优化光刻胶配比,调节喷胶速率和采用溅射后退火等手段解决了牺牲层线条模糊、孔洞出现和膜基结合力差等问题。采用光刻胶牺牲层技术可以制备出高精度薄膜电路。
其他文献
探讨PA工艺因介电层高低差发生金属线路内部断裂的改善方案。以不同光刻条件和刻蚀条件为基础,对介电层(Si3N4)进行ICP刻蚀。研究表明,增加曝光焦距,刻蚀完的侧壁倾斜角改变
<正>当下,我们的课堂生态正发生着不小的变化,"学为中心"的理论正在不断颠覆着教师对儿童学习方式的理解,而学习方式变革过程中儿童所表现出来的勃勃生机和旺盛的创造力,也在
期刊
<正>一、国民党在"立委"选举中大败,民进党夺得"立法院"第一大党地位2001年的台湾"立委"选举结束,国民党从原来的第一大党共123席跌到仅剩68席,下跌43.7%,在区域"立委"选举中
分析了全球EUV光刻胶领域专利申请态势、主要申请人和技术分布,重点介绍了基体树脂和光产酸剂结构改进方面的技术热点,并展示了有价值的专利技术信息。
为筛选适宜河套灌区种植的优质、高产春小麦品种,以北方春小麦主产区栽培的24个品种为供试材料,采用主成分分析与聚类分析相结合的品质一产量综合评价方法,系统分析了两种灌溉模
目的 研究系统性的护理干预对于重症监护室的患者肺部感染发生情况的影响.方法 选取我院ICU 2015年11月-2017年11月收治的68例重症患者作为研究对象.将其随机分为对照组和研
自由曲面透镜由一组非规则的曲面元组成,由这些曲面元通过改变其方位角度达到理想的配光要求,自主控制后雾灯各个投射区域,有效地控制其光场。菲涅尔透镜可将LED光源发出的光
采用我国2011一2015年沪深A股汽车制造业上市公司为样本,对成本粘性产生的经济效应进行实证研究,探析了成本粘性对企业经营绩效的影响。研究发现:汽车制造业企业的收入成本关
目的探讨血府逐瘀汤加减结合放化疗治疗局部晚期非小细胞肺癌临床效果。方法:选取我院2016年8月-2017年8月收治的80例局部晚期非小细胞肺癌患者临床资料,随机分为研究组(n=43)与