【摘 要】
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ETA-RT是德国STEAG ETA-Optik公司开发的离线光盘质量控制系统。其主要技术特点为: 1.利用ETA专利薄膜算法测试染料层厚度、溅镀层厚度; 2.先进的n&k测试算法;全波长380~1070n
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ETA-RT是德国STEAG ETA-Optik公司开发的离线光盘质量控制系统。其主要技术特点为: 1.利用ETA专利薄膜算法测试染料层厚度、溅镀层厚度; 2.先进的n&k测试算法;全波长380~1070nm的光密度测试; 3.精确的测量基片、粘接层、保护层厚度;ETA专利槽测试算法检测槽深、槽顶宽、槽底宽;405nm蓝光测试道间距和衍射效率; 4.ETA-Omega软件包适合所有格式盘片的快速质量测试。 ETA-RT能测试各种盘片格式,包括:
ETA-RT is an offline CD quality control system developed by STEAG ETA-Optik in Germany. Its main technical features are as follows: 1. ETA patented thin film algorithm for testing dye layer thickness, thickness of sputtered coating; 2. Advanced n & k testing algorithm; Layer, thickness of protective layer; ETA patented groove test algorithm to detect groove depth, groove width, groove bottom width; 405nm blue test track pitch and diffraction efficiency; 4.ETA-Omega package for all formats of fast quality test disc. ETA-RT can test a variety of disc formats, including:
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