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在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上．杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kalrez 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。
杜邦高性能弹性体推出KALREZ？8900部件
【摘 要】
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在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上．杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kalrez 8900部件实现了在更高温度半
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年10期
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