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文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
双频激光干涉仪技术现状与发展
【摘 要】
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文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2004年04期
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