【摘 要】
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液体静压导轨是精密超精密加工机床的重要功能单元，液压站是液体静压导轨正常工作的必要辅助单元。液体静压导轨要保持高的精度，液压站必须能够为静压导轨提供压力非常稳定的润
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川大学化学工程学院过程装备与安全工程系
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液体静压导轨是精密超精密加工机床的重要功能单元，液压站是液体静压导轨正常工作的必要辅助单元。液体静压导轨要保持高的精度，液压站必须能够为静压导轨提供压力非常稳定的润滑油输入。设计一种用于液体静压导轨的高精密液压站，该液压站利用变频电机驱动精密齿轮泵供给润滑油，利用全闭环反馈调节装置控制润滑油的稳压输出。实际测量证明：该液压站的输出压力稳定精度可达＆#177;0.05％，应用于超精密机床上的液体静压导轨取得了良好的效果。
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