基于半模基片集成波导的片上小型化太赫兹滤波器

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lijx

【摘要】

：

为了满足片上太赫兹(THz)通信系统的需要,并验证硅锗双极-互补金属氧化物(SiGe BiCMOS)工艺应用于太赫兹无源器件的性能,设计了一款小型化带通滤波器.该滤波器通过在半模基片

【作者】

：

陈卫平

【机构】

：

浙江嘉康电子股份有限公司

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2019年8期

【关键词】

：

太赫兹小型化滤波器基片集成波导互补谐振环 terahertzminiaturized filtersubstrate integrated wavegui

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为了满足片上太赫兹(THz)通信系统的需要,并验证硅锗双极-互补金属氧化物(SiGe BiCMOS)工艺应用于太赫兹无源器件的性能,设计了一款小型化带通滤波器.该滤波器通过在半模基片集成波导(HMSIW)上加载互补开口谐振环(CSRR)来实现小型化和滤波特性.采用商业电磁仿真软件对滤波器结构进行优化,滤波器的最终尺寸为800μm×360μm.仿真结果表明:滤波器中心频率为140 GHz,带宽为5%,最小插入损耗为2.6 dB.低插入损耗和小型化使得该滤波器适用于片上太赫兹通信系统.

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