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显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展，低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势。本文在射频磁控溅射过程中，引入在线紫外辐照，室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺，其最低方块电阻为512，电阻率为2．5×10^-4Ω·cm，透光率为92％，远远优于未采用紫外辐照制备的柔性ITO薄膜。我们用四探针测试仪、分光光度计、原子力显微镜、X射线衍射仪等测试仪器，对未采用和采用在线紫外辐照制备的薄膜进行测试，分析探讨了紫外线辐照对薄膜的光电性能、表面形貌和生长取向的影响。研究结果表明：在紫外