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砷化镓中铜的SIMS定量分析是有效控制砷化镓中杂质铜的浓度的重要手段,本文介绍用相对灵敏度因子定量分析砷化镓中铜的方法.
砷化镓中铜的SIMS定量分析
【摘 要】
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砷化镓中铜的SIMS定量分析是有效控制砷化镓中杂质铜的浓度的重要手段,本文介绍用相对灵敏度因子定量分析砷化镓中铜的方法.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2005年6期
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