空间用GaAs／Ge太阳电池器件工艺研究

来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woshi19891

【摘要】

：

报道了对GaAs/Ge太阳电池器件工艺的研究结果.采用细栅厚电极正胶剥离技术制备细栅厚电极,栅线宽度小于15 μm,厚度在5 μm以上;采用NH4OH/H2O2选择性腐蚀液体系去除GaAs帽子

【作者】

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陆剑峰张忠卫池卫英王亮兴陈鸣波彭冬生

【机构】

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上海空间电源研究所

【出处】

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稀有金属

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

太阳电池 GAAS/GE 器件工艺 solar cell GaAs/Ge fabrication technology

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报道了对GaAs/Ge太阳电池器件工艺的研究结果.采用细栅厚电极正胶剥离技术制备细栅厚电极,栅线宽度小于15 μm,厚度在5 μm以上;采用NH4OH/H2O2选择性腐蚀液体系去除GaAs帽子层; 采用真空蒸发制备TiO2/SiO2双层减反射膜,电流密度增益可达25%以上;研制出平均效率达到19%(AM0,1 s,25 ℃)以上的GaAs/Ge太阳电池.

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