【摘 要】
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本文介绍了目前在PTC钛酸钡半导体上形成低电阻欧姆接触的主要的金属化方法,包括化学镀镍、烧附银电极、In-Ga液体合金和铟基合金电极、真空蒸着Al、Ni后激光熔融以及各种铝
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所; 四川压电与声光技术研究所;
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本文介绍了目前在PTC钛酸钡半导体上形成低电阻欧姆接触的主要的金属化方法,包括化学镀镍、烧附银电极、In-Ga液体合金和铟基合金电极、真空蒸着Al、Ni后激光熔融以及各种铝电极等.文中简述了这些电极的制备工艺和金属化性能,并作了比较.
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