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本文介绍了光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术的进展,介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。
光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展
【摘 要】
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本文介绍了光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术的进展,介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。
【机 构】
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青海民族大学
【出 处】
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今日科苑
【发表日期】
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2010年14期
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