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介绍了一种用于被测件表面形貌的测量-分析系统，采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量，主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信号的四细分处理，经实验证明：测量的相对误差为±0．39％。
迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究
【摘 要】
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介绍了一种用于被测件表面形貌的测量-分析系统，采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量，主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信
【机 构】
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湖北襄樊学院机械工程系
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年7期
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