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SOI是英文Silicon-On-Insulator的简称,意为绝缘衬底上的硅.它通常有两种基本结构,如图1所示.第一种结构的绝缘衬底为蓝宝石,如图1(a)所示.第二种结构的绝缘膜包括SiO,、Si,N4、Al2O、以及其他介质,由于Si/SiO2界面性能稳定,缺陷密度较低,因此SiO2绝缘膜逐渐成为此类结构主流,如图1(b)所示.这两类结构均属于SOI这个范畴,为了区别起见,目前常把第一类结构称之为SOS(Silicon-On-Sapphire),而把第二类结构称之为SOI.