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期刊论文
谈终端纯化器的应用与设计
谈终端纯化器的应用与设计
来源 :玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nimashabi2009
【摘 要】
:
针对保护气输送过程中的二次污染所造成的锡液氧化、产品质量下降等问题提出了弥补的办法。就终端纯化装置对高纯气体中残余氧的堵截机理进行了理论分析,并提供了反应器的设
【作 者】
:
沈斌
【机 构】
:
安徽方兴科技股份有限公司
【出 处】
:
玻璃
【发表日期】
:
2009年11期
【关键词】
:
高纯气体
输送
污染
终端纯化
工艺设计
high pure gas
delivery
contamination
terminal purificati
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针对保护气输送过程中的二次污染所造成的锡液氧化、产品质量下降等问题提出了弥补的办法。就终端纯化装置对高纯气体中残余氧的堵截机理进行了理论分析,并提供了反应器的设计依据。
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