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由于其原子量级的分辨力和固有的测量原理，ＳＰＭ很适合于精密尺寸和形貌的测量。但是，一般的ＳＰＭ并不是专为精密测量而设计的，其结构上存在着许多误差因素，较大地影响了测量结果。本文从测量角度出发，分析了各误差因素在测量结果中的表现形式，并给出了相应的提高测量精度的方法。实验结果证明了这些方法很好地提高了ＳＰＭ尺寸测量的精度。