【摘 要】
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为扩展差动共焦显微镜(HCMS)的测量量程范围,使其满足三维微细结构和三维表面轮廓测量时的需求,基于环形光瞳滤波技术提出一种扩展HCMS测量范围的环形光瞳量程扩展方法与技术
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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为扩展差动共焦显微镜(HCMS)的测量量程范围,使其满足三维微细结构和三维表面轮廓测量时的需求,基于环形光瞳滤波技术提出一种扩展HCMS测量范围的环形光瞳量程扩展方法与技术.该方法应用二元光学整形原理将HCMS中两探测器探测到的光强响应曲线的半高宽拓宽,继而达到扩展量程范围的目的.与常用的通过减小共焦显微系统物镜的数值孔来扩展量程范围的方法相比,整形环形光瞳量程扩展法在扩展量程范围的同时,还改善了HCMS的分辨特性,压缩其旁瓣,避免了因减小物镜数值孔径值引起的横向分辨力降低的不足.理论分析和实验表明:当环
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