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研制了用于X射线测量的化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜探测器。该探测器灵敏区直径为15 mm、厚度300μm,其暗电流在800 V偏压下小于50 pA,且暗电流-电压曲线线性较好。就CVD金刚石探测器对不同能量X射线的响应及脉冲X射线时间响应进行了理论和实验研究。结果表明:该探测器对6-22 keV X射线具有10^-4-10^-2A·W^-1的灵敏度,假设电荷收集效率为39%时,灵敏度的理论值与实验测量值符合较好,探测器的RC时间常数约为1.5 ns;对亚纳秒脉冲X射线的响应上升时间为2-3