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SiO2薄膜具有结构可控、折射率可调等优点．以正硅酸乙酯为主要原料，采用溶胶一凝胶法，通过改变去离子水、乙醇和催化剂的含量，在不同配比下制备了SiO2薄膜．测定了薄膜的形貌以及透光性能．结果表明：在优化工艺参数基础上．在玻璃基片上制备出表面光滑的SiO2薄膜后，玻璃具有较好的增透特性，在可见光波波长内透光率增加4％左右。